專為半導體制造等高精度行業(yè)設計的露點儀TK-100

發(fā)布日期：2025-02-16      瀏覽次數(shù)：290

專為半導體制造等高精度行業(yè)設計的露點儀TK-100






TK-100是一款專為半導體制造等高精度行業(yè)設計的露點儀，主要用于監(jiān)測和控制氣體或環(huán)境中的水分含量。以下是TK-100的主要特點、技術(shù)參數(shù)和應用場景：

主要特點

1. 高精度測量

• TK-100采用先進的傳感器技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的露點測量，確保半導體制造過程中的氣體和環(huán)境濕度符合嚴格的要求。

2. 寬測量范圍

• 該露點儀具有寬廣的測量范圍，通常覆蓋從-100°C到+20°C的露點，適用于多種半導體制造工藝。

3. 快速響應時間

• TK-100具有快速的響應時間，能夠?qū)崟r監(jiān)測氣體或環(huán)境中的水分變化，確保及時調(diào)整和控制。

4. 抗污染能力強

• 在半導體制造環(huán)境中，可能存在各種化學污染物。TK-100設計有抗污染能力，能夠在惡劣環(huán)境中穩(wěn)定工作。

5. 易于集成

• TK-100支持多種通信協(xié)議，易于與現(xiàn)有的監(jiān)控和控制系統(tǒng)集成，方便用戶進行數(shù)據(jù)采集和分析。

6. 用戶友好界面

• 該露點儀配備直觀的用戶界面，操作簡單，便于用戶進行設置和監(jiān)控。

技術(shù)參數(shù)

• 測量范圍：-100°C to +20°C 露點

• 精度：±2°C 露點

• 響應時間：<10秒（達到90%的最終讀數(shù)）

• 工作溫度：-20°C to +50°C

• 輸出信號：4-20mA, RS485, Modbus RTU

• 電源供應：24VDC

• 防護等級：IP65

應用場景

1. 潔凈室監(jiān)控

• TK-100用于監(jiān)測潔凈室中的露點，確保環(huán)境濕度符合半導體制造的要求。

2. 氣體純度檢測

• 在半導體制造過程中，使用的高純度氣體（如氮氣、氬氣）需要嚴格控制水分含量。TK-100用于檢測這些氣體的露點，確保其純度。

3. 工藝氣體監(jiān)控

• 在薄膜沉積、蝕刻等關(guān)鍵工藝中，TK-100用于監(jiān)控工藝氣體的露點，防止水分影響產(chǎn)品質(zhì)量。

4. 壓縮空氣系統(tǒng)

• 壓縮空氣中的水分會影響設備性能，TK-100用于監(jiān)測并保持系統(tǒng)干燥。

5. 儲存和運輸

• 半導體材料和氣體在儲存和運輸過程中需要保持干燥，TK-100用于監(jiān)控環(huán)境條件。

優(yōu)勢

• 高可靠性：TK-100設計用于長時間穩(wěn)定運行，減少維護需求。

• 多功能性：適用于多種氣體和環(huán)境條件，具有廣泛的應用范圍。

• 易于維護：模塊化設計使得傳感器更換和校準變得簡單方便。

總結(jié)

TK-100露點儀憑借其高精度、快速響應和抗污染能力，在半導體制造設備中發(fā)揮著重要作用。它能夠有效監(jiān)控和控制氣體和環(huán)境中的水分含量，確保半導體制造過程的高質(zhì)量和穩(wěn)定性。