krosaki半導體制造設備用光學鏡NEXCERA®

發(fā)布日期：2025-01-03      瀏覽次數(shù)：374

krosaki半導體制造設備用光學鏡NEXCERA®






NEXCERA ®是一種熱膨脹系數(shù)與低熱膨脹玻璃相當且剛性高的材料。
主要用作半導體制造設備、坐標測量機、望遠鏡等的反射鏡。

特征

• ●熱膨脹系數(shù)與低膨脹玻璃相當

• ●可實現(xiàn)精密鏡面加工

• ●高的穩(wěn)定性（熱/時間）

• ●重量輕、剛性高

• ●自擴散接合無需接合劑即可接合

1. 
   薄筋結構
   （筋厚度：3mm）

2. 蓋板粘合（自擴散粘合）+精密鏡面加工

3. 
   箱體結構（鏡面）
   Φ340×70mm

4. 
   平坦度 36nm < λ/10

5. 
   表面粗糙度：Ra 0.36nm，PV 32nm

鍵合技術 自擴散鍵合

• ?陶瓷直接接觸并加壓加熱，使構成元素擴散而接合的方法。

• ?無需使用粘接劑即可接合。

1. 
   薄筋結構
   （筋厚度：3mm）

2. 蓋子接頭

3. 
   箱體結構（鏡面）
   Φ340×70mm

4. 

   聯(lián)合剖面照片

NEXCERA®熱穩(wěn)定性

• ●熱循環(huán)
  (RT?-20℃(11h)?+60℃(11h)?RT)×4次

• ●
  NEXCERA® （ N117B）鏡面/薄肋接合結構 示例


樣品尺寸： φ340mm

1. 
   <熱循環(huán)前> 平面度：0.058μm

2. 
   <熱循環(huán)后>平面度：0.060μm

溫度循環(huán)前后的平整度變化在設備誤差范圍內
， 形狀輪廓幾乎保持不變。

 熱循環(huán)引起的滯后非常小。

NEXCERA ®超低熱膨脹陶瓷



NEXCERA ®是一種基于堇青石（2MgO-2Al 2 O 3 -5SiO 2 ）陶瓷的超低熱膨脹陶瓷。它在室溫附近表現(xiàn)出零膨脹，是一種比低熱膨脹玻璃具有更高強度和剛性的材料。可以創(chuàng)建以前不可能的復雜形狀。

特征

• 零熱膨脹

• 它在室溫附近幾乎為零膨脹。

• 高老化穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性

• 隨著時間的推移，尺寸變化極小，并且熱膨脹系數(shù)和尺寸相對于溫度變化的再現(xiàn)性非常好。

• 重量輕、剛性高

• 與一般低熱膨脹玻璃相比，其剛性約為1.5倍。

• 可實現(xiàn)精密鏡面加工

• 由于它是無孔材料，因此可以通過研磨或拋光將其加工成鏡面。

• 近終形燒成技術

• 通過預燒制處理可以實現(xiàn)近凈燒制，從而可以以低成本制造復雜的結構。

熱膨脹行為



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• 測量儀器參考裝置概述

• 光學鏡概述

各材料物性表

產(chǎn)品編號		N113B	N117B	N118C	N119C	CD107
顏色		黑色的	黑色的	藍灰色	淺藍 灰色	藍灰色
堆積密度	克/立方厘米	2.5	2.55	2.58	2.5	2.57
彎曲強度	兆帕	210	230	220	166	230
楊氏模量	GPa	130	140	140	130	143
比剛度	GPa/(克/立方厘米)	52	55	54	52	55
斷裂韌性值	兆帕·米1/2	1.2	1.2	1.4	1.3	1.4
硬度	GPa	8.0	8.1	8.1	8.0	-
熱膨脹系數(shù)	X10 -6 /℃ 23℃	< 0.03	< 0.03	< 0.05	< 0.05	< 0.03 （22℃時測定）
導熱系數(shù)	瓦/米克	3.7	4.2	4.5	4.3	4.7
相對介電常數(shù)	(1兆赫)	4.7	6.0	4.7	4.4	4.6

*所列數(shù)據(jù)為典型值，并非保證值。