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適用于 6 英寸晶圓和掩模的長壽命緊湊型準分子 VUV 172nm 光源
空氣冷卻緊湊型準分子燈單元，光長160mm，專為VUV 172波長的照射而設(shè)計，具有簡單的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，可實現(xiàn)低溫精密處理。
緊湊型準分子UV172nm光源型號E500-172-160
與 6" 晶圓和掩模基板兼容的燈。其特點包括簡單緊湊的結(jié)構(gòu)、高度可靠的空氣冷卻以及無需更換燈管的長壽命準分子燈。 *1 電源為 AC100V。
特點 長壽命風(fēng)冷準分子燈。無需更換燈管
本來，準分子紫外線燈的結(jié)構(gòu)是燈泡內(nèi)部沒有電極，因此理論上它們被認為是長壽命燈，在國外有時被稱為準分子燈。然而，如今追求高照度的準分子燈由于燈管材料更輕、更薄、燈管溫度更高以及紫外線能量導(dǎo)致的玻璃變形，往往導(dǎo)致燈管壽命較短，從而導(dǎo)致成本較高。
*1 根據(jù)多年的現(xiàn)場經(jīng)驗和結(jié)果，Excimer Co., Ltd. 的風(fēng)冷緊湊型準分子燈需要定期更換外部電極、高壓電纜和高壓部件作為維護的一部分，但無需更換昂貴的燈管本身。我們實現(xiàn)了低成本和高可靠性。
特征
風(fēng)冷式，安裝方便。
燈管燈長160mm
電源 AC100V 50/60Hz
瞬時開/關(guān)燈功能。
適合研究和開發(fā)。
應(yīng)用領(lǐng)域
表面潤濕性和改性
光化學(xué)
反應(yīng)性O(shè)H自由基過程
抗蝕劑去除
UV O3工藝
規(guī)格
| 波長 | 172納米 |
| 燈長 | 160毫米（燈箱型） |
| 功能 | 立即開/關(guān)燈 |
| 燈箱尺寸（燈箱類型） | 寬200×高45×深80毫米 |
| 電源尺寸（燈箱類型） | 寬250×高140×深200毫米 |
| 力量 | 交流100V 60Hz 1A |
| 奧普廷斯 | 臭氧過濾器、工藝氣體供應(yīng)裝置 |
*由于采用緊湊型風(fēng)冷設(shè)計，連續(xù)點亮?xí)r間在10分鐘以內(nèi)。
