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高性能殘余氣體分析儀 (RGA) 光譜儀 MPH介紹

  • 發布日期:2023-05-22      瀏覽次數:2241
    • 高性能殘余氣體分析儀 (RGA) 光譜儀 MPH介紹

      特點 

      ?每點1.1ms的超高速數據采集(模擬掃描,選擇性峰值) 

      ?標準校準器(可選) 

      ?可進行TCP/IP以太網連接 ?雙燈絲 (8)
      ?可現場更換的二次電子倍增管 

      ?結合陽極、陰極和排斥電極的燈絲套件 

      ?小型傳感器將安裝空間降至低 

      ?2位動態范圍
      ?MDPP(最小檢測部分電壓)為<2.9E-2Pa(7amu) <b13> 

      ?提高信噪比 

      ?無需匹配傳感器和控制單元(SCU) 

      ?通過雙重包裝在潔凈室環境中進行組裝、檢查和運輸 

      ?符合RoHS標準

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      新設計的傳感器提高了平均故障時間,降低了運行成本 Transspector MPH的離子源由兩根燈絲組成,它們結合了陽極,陰極和驅蟲器電極。 雙燈絲設計,使用主和備用,允許傳感器長時間使用,避免災難性的系統故障。 Transpector MPH 還允許您為您的應用選擇合適的燈絲(鎢用于含鹵素工藝,釔涂層銥用于含氧工藝),因此該工藝不會縮短燈絲的使用壽命。

      更換顯影器MPH的燈絲相當于更換傳統RGA的整個離子源。 維護點的減少大大降低了總成本。 Transpector MPH 通過用燈絲代替離子源來延長 RGA 的使用壽命和靈敏度,這些燈絲通常會因長期使用而受到污染。

      該傳感器還為可現場更換的二次電子倍增管(EM)(如果配備二次電子倍增管)增加了價值。 在日常維護期間,EM可以在現場快速更換。 新的二次電子倍增管進一步提高了法拉第杯(FC)的靈敏度,并有助于其使用壽命。


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