ulvac電離真空計(jì)故障排除

發(fā)布日期：2023-05-10      瀏覽次數(shù)：1298

ulvac電離真空計(jì)故障排除




1. 由于靈敏度是用氮?dú)庑?zhǔn)的，如果殘余氣體的主要成分不是氮?dú)猓鼘@示與實(shí)際壓力不同的值。

2. 在測(cè)量含有氧氣和水蒸氣的氣體時(shí)，燈絲會(huì)發(fā)生嚴(yán)重的反應(yīng)和劣化。
   必須使用較低的發(fā)射電流來(lái)減少磨損，或者在表面上使用三重涂層的燈絲。

3. 當(dāng)測(cè)量低于 10-4Pa 的壓力時(shí)，必須對(duì)測(cè)量元件本身進(jìn)行脫氣。
   當(dāng)開(kāi)始脫氣時(shí)，由于大量排放的氣體，壓力增加，相反，它可能會(huì)污染測(cè)量設(shè)備。 確保在 10-4Pa 或更低的范圍內(nèi)脫氣。

4. 如果產(chǎn)品在高壓下連續(xù)使用（三極管類(lèi)型：10-1Pa或更高），燈絲會(huì)嚴(yán)重磨損，無(wú)法獲得恒定的發(fā)射電流。

故障清單

1.測(cè)量裝置的燈絲不亮

2. 測(cè)量裝置的燈絲發(fā)出異常光（比平時(shí)更亮）
3. 燈絲點(diǎn)亮但不顯示壓力 

4. 燈絲亮了一會(huì)兒，但很快就消失了

5.讀取值搖擺不定

6.指示值與預(yù)期壓力明顯不同
7.無(wú)設(shè)定點(diǎn)信號(hào)輸出

1.測(cè)量裝置的燈絲不亮。

原因	怎么辦
斷絲	更換測(cè)量?jī)x器
斷開(kāi)測(cè)量?jī)x電纜	維修、更換測(cè)量?jī)x電纜
由于高壓	使用皮拉尼真空計(jì)檢查壓力
燈絲選擇開(kāi)關(guān)配置錯(cuò)誤	選擇合適的燈絲

2.測(cè)量裝置的燈絲發(fā)出異常光（比平時(shí)更亮）

原因	怎么辦
斷開(kāi)測(cè)量?jī)x電纜	維修、更換測(cè)量?jī)x電纜
控制器故障	請(qǐng)求維修
測(cè)量裝置劣化	更換測(cè)量?jī)x器

3. 燈絲點(diǎn)亮但不顯示壓力

原因	怎么辦
斷開(kāi)測(cè)量?jī)x電纜	維修、更換測(cè)量?jī)x電纜
控制器故障	請(qǐng)求維修

4. 燈絲亮了一會(huì)兒，但隨后迅速熄滅

原因	怎么辦
保護(hù)電路工作是因?yàn)楸粶y(cè)壓力很高	使用皮拉尼真空計(jì)檢查壓力
控制器故障	請(qǐng)求維修

5. 讀數(shù)值波動(dòng)

原因	怎么辦
連接測(cè)量設(shè)備的連接處有真空泄漏	更換測(cè)量元件或改善連接處的真空泄漏
測(cè)量設(shè)備上的污垢	更換測(cè)量?jī)x器
測(cè)量電纜正在振動(dòng)	如果測(cè)量裝置電纜不斷振動(dòng)，則測(cè)量單元電纜內(nèi)部的摩擦力可能會(huì)導(dǎo)致指示值交錯(cuò)，應(yīng)重新考慮電纜安裝方法。

6.讀數(shù)值與預(yù)期壓力明顯不同

原因	怎么辦
發(fā)生漏電流	由于測(cè)量器上的污垢，測(cè)量設(shè)備電纜絕緣不良而更換
?靈敏度系數(shù)設(shè)置不同 ?被測(cè)氣體不是氮?dú)饣蚩諝狻?/span>	檢查手冊(cè)并正確設(shè)置
壓力真的和預(yù)期的不一樣	通過(guò)其他真空計(jì)確認(rèn)

7. 無(wú)設(shè)定點(diǎn)信號(hào)輸出

原因	怎么辦
更換控制器內(nèi)繼電器	繼電器故障 → 請(qǐng)求維修
發(fā)射電流未正常。	當(dāng)發(fā)射變?yōu)镹G時(shí)，設(shè)定值信號(hào)的輸出也被取消。 →更換測(cè)量元件

停止發(fā)射電流的原因和對(duì)策

原因	怎么辦
高壓（超過(guò)10-1帕），	檢查排氣系統(tǒng)
斷絲	更換測(cè)量?jī)x器
長(zhǎng)絲磨損	更換測(cè)量?jī)x器
測(cè)量設(shè)備內(nèi)部的污垢	更換測(cè)量?jī)x器
測(cè)量設(shè)備電纜接觸不良或斷開(kāi)	重新連接或更換測(cè)量?jī)x電纜
控制器中電源電路故障	請(qǐng)求維修