質量流量控制器的原理與結構

發布日期：2022-08-08      瀏覽次數：2165

質量流量控制器的產品概述

質量流量控制器通過測量流體的質量流量來控制流量，因此無需對環境溫度或工作壓力的變化進行補償，高精度穩定的流體測量和控制是可能的裝置。在流量計、針閥等體積流量控制中，當需要一定量的精確流量時，需要對溫度、壓力等的變化進行補償。質量流量控制器/質量流量計用于半導體和平板顯示器等需要高精度流量測量和控制的領域，以及分析、燃料電池、液晶、有機EL、生物、培養、食品、環境測量、燃燒氣體，廣泛應用于控制、工廠設備、實驗設備等所有過程和裝置。F-CON 的質量流量控制器/質量流量計是專門從事基本功能的低價產品，同時通過我們追求基本性能的技術降低成本并提高產品性能和可靠性，使其可用于廣泛的領域。我正在尋找制造。

質量流量控制器的原理與結構

質量流量控制器的基本結構由流量傳感器、旁路、閥門和控制電路組成，如下圖所示。

常用的傳感器稱為熱傳感器，其中電流施加到纏繞在不銹鋼毛細管上游和下游的電阻器上以產生熱量。當沒有氣體流動時，上游和下游電阻器熱量保持平衡，流量輸出信號指示為零。

從入口進入的氣體被轉移到傳感器并旁路。當氣體流入傳感器時，上下游電阻之間會產生溫差，導致熱平衡崩潰，傳感器的溫度分布發生變化。這種變化被橋式電路捕獲并作為流量輸出信號取出。然后，將外部輸入的流量設定信號與傳感器流量輸出信號進行比較，流量控制閥進行PID運算（比例、積分、微分）使各自的信號電平匹配，閥門自動自開啟閥門的流量經過微調，可以在設定的條件下始終控制流量穩定的流量。



                                      ■ 質量流量控制器的結構







■ 關于流量傳感器的溫度分布

使用質量流量控制器時的注意事項



●一般情況下，即使流量設置為零或強制關閉，質量流量控制器也無法*關閉氣流。大多數質量流量制造商基本上不保證控制流量范圍之外的控制。

●使用時，建議在質量流量控制器前安裝閥門。這樣，可以使用質量流量控制器來設定流量，通過打開和關閉閥門可以打開/關閉氣體。另外，質量流量控制器的流量一經設定就不會改變，所以總是再現相同的設定流量。

●即使在氣體流動時流量頻繁變化，也建議安裝閥門以*切斷氣體流動。

■左圖為閥配置流程示例。